加速度传感器在电子显微镜下的结构照片
网上看到的一副照片，好象是ADXL330加速度传感器在电子显微镜下的内部结构http://cache.amobbs.com/bbs_upload782111/files_9/ourdev_252767.jpg
(原文件名:20070724103222342.jpg) ADXL330封装尺寸就是4mm×4mm，不知道图中结构有多大
感觉这么微小尺寸做结构设计就是艺术 这个结构用了什么原理 MEMS 看样子还有轴，应该能动的。
怎么做哦！
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会不会是压敏电阻原理，
上结构片与底板相对运动，然后四个支持臂弯屈，电阻变化？
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或则是陶瓷片的压电原理 电容变化，详情请参阅ADXL330的datasheet. ADXL331的原理比较有创意，可能结构也比较简单，中间一个加热装置，四边有四个热电偶，加热氦气团后，加速度使氦气团偏离中心，热电偶感受到温度差输出的值就能反应加速度的大小，再加个温度传感器做补偿，精度能做的很高 原理是通过电容的变化来算出加速度，我让ADI的FAE看了这张照片，对方也很惊讶！物理结构确实...... 像太空堡垒.... mark 想不通怎样搞出来的 呵呵！。。。。加速度里面的构造基本上这个结构，我们公司的。。。哦！现在也就是我们部门做的加速度计里面是梯形空穴的结构。。。。改天也传几张PICS。。。。。。 【12楼】 gl516
能解释一下怎样做出来的吗？ 光刻？光植？ MEMS的东西，呵呵 TO 【13楼】 RickyZhou ......hehe!.......改天传份资料给你看看。。。。！！不过我们的加速度传感器做到最好，灵敏度高的话，都是小于4G（2G左右的非常灵敏）。太大G（利于20个G）的也可以做，只是灵敏度的问题。
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ADI推出 ADIS16209 为精密的微机电系统(MEMS)倾斜计
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ADI iSensor Evaluation Tool Overview 最新的ADI传感器开发测评工具介绍 PDF文档
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联系方式在下载的文档中也可获得。 这个结构让我想起星际争霸。 我搞到最新的照片了，正在向领导申请，看能不能贴出来 不可思议,那么复杂的结构居然能做到几十块钱.
??? 我更观注电子显微镜的实现原理和内部结构 意法半导体声称可以承受1000g的加速度，这比子弹发射的加速度还大。 好牛啊 想不明白一个问题,就是假设传感器轴和重力平行,如果静止时间重力作用在传感器内部质量块上的效果是让电容增加了ΔC,即总电容是C0+ΔC,那么以1G的加速度垂直提起传感器,那么总电容应该是C0+2ΔC,还是为C0-ΔC呢?请根据结构说出理由,不要想当然的回答,原来我没看微观结构的时候就认为是“C0-ΔC”，因为我认为加速度大小一样，只是方向反了，所以推出变化的电容量为-ΔC，但是看了结构我觉得好象应该是总电容应该是C0+2ΔC，请了解实际情况的兄弟姐妹出来解惑。
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