加速度传感器在电子显微镜下的结构照片

feng_matrix · 发表于 2008-4-15 14:00:54

网上看到的一副照片，好象是ADXL330加速度传感器在电子显微镜下的内部结构

(原文件名:20070724103222342.jpg)

feng_matrix · 发表于 2008-4-15 14:15:12

ADXL330封装尺寸就是4mm×4mm，不知道图中结构有多大
感觉这么微小尺寸做结构设计就是艺术

xuechenghao · 发表于 2008-4-16 02:37:11

这个结构用了什么原理

ahfong2006 · 发表于 2008-4-16 10:23:51

MEMS

mljda · 发表于 2008-4-16 10:24:07

看样子还有轴，应该能动的。
怎么做哦！
-------------------
会不会是压敏电阻原理，

上结构片与底板相对运动，然后四个支持臂弯屈，电阻变化？

-------------------
或则是陶瓷片的压电原理

ahfong2006 · 发表于 2008-4-16 10:39:21

电容变化，详情请参阅ADXL330的datasheet.

czzhouyun · 发表于 2008-4-19 01:20:27

ADXL331的原理比较有创意，可能结构也比较简单，中间一个加热装置，四边有四个热电偶，加热氦气团后，加速度使氦气团偏离中心，热电偶感受到温度差输出的值就能反应加速度的大小，再加个温度传感器做补偿，精度能做的很高

sundollmxw · 发表于 2008-8-26 23:12:07

原理是通过电容的变化来算出加速度，我让ADI的FAE看了这张照片，对方也很惊讶！物理结构确实......

fsclub · 发表于 2008-8-27 08:02:53

像太空堡垒....

mingyuexin1981 · 发表于 2008-8-27 09:20:46

mark

RickyZhou · 发表于 2008-8-27 09:23:52

想不通怎样搞出来的

armok · 发表于 2008-8-27 09:32:43

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

gl516 · 发表于 2008-8-27 09:51:05

呵呵！。。。。加速度里面的构造基本上这个结构，我们公司的。。。哦！现在也就是我们部门做的加速度计里面是梯形空穴的结构。。。。改天也传几张PICS。。。。。。

RickyZhou · 发表于 2008-8-27 09:54:06

【12楼】 gl516

能解释一下怎样做出来的吗？光刻？光植？

jacobhere · 发表于 2008-8-27 12:11:14

MEMS的东西，呵呵

gl516 · 发表于 2008-8-27 22:30:13

TO 【13楼】 RickyZhou ......hehe!.......改天传份资料给你看看。。。。！！不过我们的加速度传感器做到最好，灵敏度高的话，都是小于4G（2G左右的非常灵敏）。太大G（利于20个G）的也可以做，只是灵敏度的问题。
！！

sundollmxw · 发表于 2009-2-21 13:42:04

ADI推出两款全新的惯性传感器 ADIS16405 与 ADIS16300
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=165

ADI推出6自由度惯性传感器 ADIS16365
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=164

ADI突破性MEMS（微机电系统）传感器 ADIS16355
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=163

ADI力推采用iMEMS 运动讯号处理 Motion Signal Processing Technology 设计之iSensor智能传感器 ADIS16405
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=160

苹果iPhone热销创造MEMS需求温床 ADXL330 ADXL335 ADXL345
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=153

ADI偏航角速度陀螺仪系列产品 ADIS16060 ADIS16250 ADIS16255
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=141

ADI推出全新惯性传感器 ADIS16405 与 ADIS16300
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=139

ADI推出新款6自由度惯性传感器 ADIS16365
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=125

ADI推出最新基于MEMS的振动感测器，有助于保持工厂设备正常运转 ADXL001
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=77

ADI推出 ADXL345 为首颗加入数码输出的高重力加速度的侦测器
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=71

ADI推出 ADXL330 为小量程、小外形、低功耗的3轴MEMS加速度计
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=69

ADI推出 ADIS16209 为精密的微机电系统(MEMS)倾斜计
http://www.sundoll.com.cn/shownews.asp?id=60
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ADI iSensor 产品手册  ADI imems 加速度计加速度传器陀螺仪产品介绍手册 PDF文档
浏览：http://www.sundoll.com.cn/DownloadShow.asp?ID=9
下载：http://www.sundoll.com.cn/pdf/adi-mems.pdf

ADI iSensor Evaluation Tool Overview 最新的ADI传感器开发测评工具介绍 PDF文档
浏览：http://www.sundoll.com.cn/DownloadShow.asp?ID=10
下载：http://www.sundoll.com.cn/pdf/iSensor_EvalSlides-SUNDOLL.COM.CN.pdf

  ADI 加速度计加速度传感器 accelerometer
ADXL001 ADXL180 ADXL193 ADXL204 ADXL278 ADXL322 ADXL323 ADXL330 ADXL335 ADXL78 ADXL320 ADXL321 ADXL103 ADXL203 ADXL311 ADXL202 ADXL213

  ADI ADIS系列加速度计加速度传感器 ADIS Accelerometer
ADIS16003 ADIS16006 ADIS16201 ADIS16203 ADIS16204 ADIS16209

  ADI 陀螺仪 Gyroscope
ADXRS150 ADXRS300 ADXRS401 ADXRS610 ADXRS612 ADXRS613 ADXRS614

  ADI ADIS系列陀螺仪 ADIS Gyroscope
ADIS16060 ADIS16080 ADIS16100 ADIS16120 ADIS16130 ADIS16250 ADIS16251 ADIS16255 ADIS16300 ADIS16350 ADIS16354 ADIS16355 ADIS16360 ADIS16364 ADIS16355 ADIS16405
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kyughanum · 发表于 2009-2-22 02:19:39

这个结构让我想起星际争霸。

sundollmxw · 发表于 2009-6-18 18:27:36

我搞到最新的照片了，正在向领导申请，看能不能贴出来

smartcar · 发表于 2009-6-19 00:05:44

不可思议,那么复杂的结构居然能做到几十块钱.
???

workhelper · 发表于 2009-6-19 08:43:15

我更观注电子显微镜的实现原理和内部结构

callcopy · 发表于 2009-6-19 10:50:18

意法半导体声称可以承受1000g的加速度，这比子弹发射的加速度还大。

mikecn · 发表于 2009-6-19 16:49:56

好牛啊

zjysd · 发表于 2010-5-29 17:28:05

想不明白一个问题,就是假设传感器轴和重力平行,如果静止时间重力作用在传感器内部质量块上的效果是让电容增加了ΔC,即总电容是C0+ΔC,那么以1G的加速度垂直提起传感器,那么总电容应该是C0+2ΔC,还是为C0-ΔC呢?请根据结构说出理由,不要想当然的回答,原来我没看微观结构的时候就认为是“C0-ΔC”，因为我认为加速度大小一样，只是方向反了，所以推出变化的电容量为-ΔC，但是看了结构我觉得好象应该是总电容应该是C0+2ΔC，请了解实际情况的兄弟姐妹出来解惑。

加速度传感器在电子显微镜下的结构照片

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