MEMS的结构示意图,Flash动画,可以了解电容方式的加速度传感器构造原理
好久之前参加过一个原厂搞的MEMS培训,记得当时演示过一个动画,很形象的展示了半导体工艺是如何在晶元上加工机械结构的。后来copy,不过一直没有找到这个文档,还一直说人家漏了我。昨天在整理硬盘的时候,发现原来这个文档确实给了我,我错怪了人家。觉得这个文档挺直观的,给大家也看看吧。所谓的加速度是如何在IC上感应的。
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顺便问一个问题,在大家第一眼看到MEMS时,有谁知道MEMS是那几个单词的缩写?
ST有一个三轴加速度传感器,数字输出,型号是LIS302DL。下面的这个文档是这颗IC设计的应用笔记。
点击此处打开ourdev_229776.pdf(文件大小:411K)
目前的参数,加速度的传感区间不大,只能用于消费类设备。 可以用在游戏机上 这么好的贴子,太凉快了点哈 我有几个压电式的!直接可以用示波器观察!
哈哈! 【楼主位】 Grant :参考了你给的应用笔记,刚看了一点,不错。 MEMS是什么? 【5楼】 xml2028 :MEMS是什么? 微电子机械系统。 飞过 楼主,你用过LIS302DL吗?两个中断怎么用 学习下 谢谢楼主啊!
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