MEMS的结构示意图，Flash动画，可以了解电容方式的加速度传感器构造原理

Grant · 发表于 2008-3-13 09:45:12

好久之前参加过一个原厂搞的MEMS培训，记得当时演示过一个动画，很形象的展示了半导体工艺是如何在晶元上加工机械结构的。后来copy，不过一直没有找到这个文档，还一直说人家漏了我。昨天在整理硬盘的时候，发现原来这个文档确实给了我，我错怪了人家。

觉得这个文档挺直观的，给大家也看看吧。所谓的加速度是如何在IC上感应的。
点击此处下载ourdev_229775.rar(文件大小:55.69M)

顺便问一个问题，在大家第一眼看到MEMS时，有谁知道MEMS是那几个单词的缩写？

ST有一个三轴加速度传感器，数字输出，型号是LIS302DL。下面的这个文档是这颗IC设计的应用笔记。
点击此处打开ourdev_229776.pdf(文件大小:411K)

目前的参数，加速度的传感区间不大，只能用于消费类设备。

miraclelife · 发表于 2008-3-13 11:45:52

可以用在游戏机上

thomasdu · 发表于 2008-8-1 22:44:27

这么好的贴子，太凉快了点哈

liaoljj · 发表于 2008-8-1 23:11:49

我有几个压电式的！直接可以用示波器观察！
哈哈！

32446975 · 发表于 2009-1-14 00:37:53

【楼主位】 Grant ：参考了你给的应用笔记，刚看了一点，不错。

xml2028 · 发表于 2009-1-14 09:04:27

MEMS是什么?

32446975 · 发表于 2009-3-2 15:27:40

【5楼】 xml2028 :MEMS是什么? 　　　微电子机械系统。

lilolog · 发表于 2009-3-2 15:30:14

飞过

kucooboy · 发表于 2009-3-18 09:53:27

楼主，你用过LIS302DL吗？两个中断怎么用

sunyouyuan · 发表于 2009-3-18 10:40:20

学习下

yifeng152 · 发表于 2013-1-13 14:50:16

谢谢楼主啊!

MEMS的结构示意图，Flash动画，可以了解电容方式的加速度传感器构造原理

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