40nm精度非接触电容类型传感器选型求助

hy2515131 · 发表于 2020-11-7 09:17:13

如题40nm精度非接触电容类型传感器选型求助
要求
非接触
40nm精度
最好是电容类型的

主要应用：测量距离

传感器测量头和放大器最好成套提供

Error.Dan · 发表于 2020-11-7 10:43:24

单位没错?

没错直接出门左转基恩士,其他家起码跟基恩士一个级别的才能做的了
一般工业上做到μm级别都累的斯哈斯哈的,你这个好直接纳米级别了,别说传感器了,你这个系统里面任何一个支架/框架的变形能控制到亚μm级别吗?

qianj1986 · 发表于 2020-11-7 11:02:56

二楼的答复已经绰绰有余了

Nuker · 发表于 2020-11-7 13:48:56

看来楼主要上40nm的光刻机了

knight_avr · 发表于 2020-11-7 20:07:46

电涡流传感器你了解一下

分辨率足够高，绝对精度有点难

wowangru · 发表于 2020-11-8 16:41:00

米依！！！

hy2515131 · 发表于 2020-11-11 08:32:50

Error.Dan 发表于 2020-11-7 10:43
单位没错?

没错直接出门左转基恩士,其他家起码跟基恩士一个级别的才能做的了

40um精度的有哪家国内的厂家可以做的？

hy2515131 · 发表于 2020-11-11 08:36:55

wowangru 发表于 2020-11-8 16:41
米依！！！

德国那家吗？

wowangru · 发表于 2020-11-11 08:39:49

hy2515131 发表于 2020-11-11 08:36
德国那家吗？

我做过一个封闭式的， 40nm没有问题，传感器式的米依就能满足你的要求。

DOER · 发表于 2020-11-11 08:41:53

你的测量范围多大啊？
到英国真尚友看看，他的传感器精度惊人

hy2515131 · 发表于 2020-11-15 13:47:23

DOER 发表于 2020-11-11 08:41
你的测量范围多大啊？
到英国真尚友看看，他的传感器精度惊人

多谢真尚友传感器看说明还是挺好的联系他们试试多谢

hy2515131 · 发表于 2020-11-15 13:49:30

wowangru 发表于 2020-11-11 08:39
我做过一个封闭式的， 40nm没有问题，传感器式的米依就能满足你的要求。 ...

传感器式的？我们用的是电容式的啊可以咨询下试试多谢

wowangru · 发表于 2020-11-23 21:19:17

hy2515131 发表于 2020-11-15 13:49
传感器式的？我们用的是电容式的啊可以咨询下试试多谢

封闭式的就是在真空腔内测量的。传感器式的就是一个测头类型的。

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