13.56M射频电源有人了解过没,技术瓶颈在哪里啊
最近朋友问能不能搞射频电源,等离子磁控溅射上用的,想国产化。大概了解了一下参数,13.56MHz,输出功率250W,感觉就是个超大号的射频放大器啊,有啥技术瓶颈和难点不?
贴个链接,差不多就是想替代目前进口的型号https://www.capovani.com/iinfo.cfm?itemno=189247 为何不参照AE的
如果您有兴趣,以后说不定有机会合作。
十几年前老公司有人抄过一台进口的射频电源,好像是电子管的 只是学过一些射频课程,射频电路设计和普通的低频差很多。老师以前做过射频相关的,这个电源在实验室看到过。
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