真空系统组成及各种真空泵的工作原理
本人在网上搜集了一些真空系统组成原理的相关资料,现编辑成一Word文档,文档中引用了大量图片和详实的文字介绍了真空系统的组成、工作原理和各种真空泵的结构及其原理。本文档对要DIY真空系统和DIY用到真空系统的电子设备(比如扫描电镜)的网友十分有帮助,望网友们喜欢!文档没有介绍各种真空阀门、真空管道和真空气压计,希望有相关资料的网友分享一下!
看过后觉得好就顶一下,谢谢!
点击此处下载 ourdev_533962.rar(文件大小:1.07M) (原文件名:真空系统组成及各种真空泵的工作原理.rar) 按个爪印 mark MARK 关注中 真的有人准备DIY电镜啊!也提供些我所了解的知识吧。
真空泵分低压泵和高压泵,低压泵是机械泵,有活塞式、旋片式等等,都只能产生“低真空”。
高压真空泵有重油真空泵、电子真空泵、离子真空泵等等,其原理都是用高速“工作质”去撞击空气分子,将空气分子从进气口撞向出气口,然后由机械式低压真空泵抽走。高压真空泵都不能直接工作,需要和机械式低压真空泵级联,一般由低压真空泵抽到一定压力以后才能开机工作。
以重油真空泵来说,重油真空泵是全玻璃的,内部有设计好的气路、油路、储油槽、冷却管,工作的时候就是用电炉子把真空泵油烧开,油滴沿油路运行,并把空气分子撞向出气口,然后被冷却、回流到储油槽。电子真空泵、离子真空泵是用电场加速电子、离子来完成这一工作,但能达到更高的真空度。
我估计(仅代表我自己意见,请参考电镜DIY方案对真空度的要求)DIY电镜可能要最少用到重油式高压真空泵。而且真空度越高对电镜来说,成像质量应该越好,因为空气分子对电子运行的干扰就越小。 记得当年在学校实验室的时候,老师有检测真空系统漏气的仪器(经常会漏气的),长时间抽气而达不到要求的真空度时,老师们就怀疑有漏气了,然后用仪器仔细寻找漏气点,找到以后用真空泥封起来,如果漏气比较严重有可能整个真空系统要重做。 不错,不知道真空度是怎么标度的。 关于扩散泵的使用,有一重要的步骤文中没有提及,扩散泵在关闭电源停止使用后仍需通冷却水约10分钟直到泵体冷却
为止。 几种常见的超高真空系统
点击此处下载 ourdev_534114.rar(文件大小:60K) (原文件名:几种常见的超高真空系统.rar) 【9楼】 sunzhaod 查尔斯*SUN
关于扩散泵的使用,有一重要的步骤文中没有提及,扩散泵在关闭电源停止使用后仍需通冷却水约10分钟直到泵体冷却为止。
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扩散泵在关闭电源停止使用后仍需——继续通冷却水——直到泵体冷却到其内没有油蒸汽存在,才可关闭(低真空的)机械泵。
因此,每天总是至少有一人晚离开机房近半个小时。 回复【11楼】JQ_Lin
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谢谢前辈指导,还有一个问题想问JQ_Lin前辈一下,扫描电镜是不是必须要装液氮冷阱? 【12楼】 sunzhaod 查尔斯*SUN
扫描电镜是不是必须要装液氮冷阱?
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1.只要严格遵循真空系统的操作规程,达到足够的真空度才可打开扩散泵的翻板阀;扩散泵冷却到其内没有油蒸汽存在,才可关闭机械泵,等等,就可以在很大程度上避免油蒸汽污染电子光学通道和样品室。
2.每运行一段时间,总是需要清洗电子光学通道和样品室的;极靴保护套被电子束长时间轰击变黑,也必须清洗处理。那些少许的油蒸汽污染,在这个清洗处理过程中即可解决掉。
所以我本人认为,是否安装液氮冷阱,应当由扫描电镜的档次级别来决定。
一般情况下,液氮冷阱不是必须的。我们三十多年前的大型的和台式的扫描电镜,都没有使用液氮冷阱。
条件允许,装上液氮冷阱,好似豪华装修,当然更好,起码可以降低清洗系统的频度。 真空步进电机 留个印子 在真空中使用电器产品需要注意些什么吗? 回复【16楼】TRINAMIC 驱动天下
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应该考虑到大功率器件的散热问题,因为真空中散热片和风扇估计都没效果。 我就知道一点哈
卖弄下啊
如果要级联真空泵
中间要加个罗茨泵哈~~~~ 谢谢分享。找了好久 这个我在行,真空获得要分级,粗真空就负2一3个零,用逻茨泵和旋片泵级联,高真空最好用分子泵,能到负5一6个零,高真空检测用离子规,漏气可用稀有气体检测,原来在南玻搞过真空镀膜,有点高科技学了不少东西 谢谢分享。。。 科普了解下知识,不错。 留个印子
谢谢分享
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